氣體質量流量控制器
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點擊次數：2188 更新時間：2019-12-30
FC-R77xx CD系列流量控制器采用橡膠材質密封具備優異的低泄漏特性，可適用于絕大多數氣體控制應用。提供行業通用和AE獨特電氣信號可選方案，可方便對用戶使用的質量流量控制器（MFC）進行替換，操作簡單。
特點
◆高精度
◆高信賴和可靠性
◆耐腐蝕設計
◆采用橡膠密封材質
◆VCR、Swagelok互換的氣路接口
◆10SCCM－5SLM滿量程范圍
◆方便的互換性
◆高速應答優秀的統一性，目前世界上有大約7萬只在運行中的產品，內的返修率不到0.5%,廣受客戶贊譽
◆方便的互換性
性能指標 | FC-R7700CD/FC-R7700D系列 | FC-R7710CD/FC-R7710D系列 | FC-R7720CD/FC-R7720D系列 |
滿量程范圍 | 10Sccm-5Slm | N/O:6-20slm* | 35-200Slm |
響應時間 | 滿流量的±2%范圍內,小于2秒 | 滿流量的±2%范圍內,小于3秒 | |
精度 | ≤±1%滿量程 | ≤±2%滿量程 | |
線性鍍 | ≤滿量程±0 5% | ≤滿量程±0 5% #1 | ≤滿量程±1% |
重復性 | ≤滿量程±0.2% | ||
泄漏率 | 1X10E-11 Pa.m 3/sec | ||
控制范圍 | 滿流量的2%-100% | ||
壓差 | 49Kpa-275Kpa | 69Kpa-275Kpa | 147Kpa-275Kpa |
正常工作壓 | 490Kpa | ||
最高進氣壓力 | 980Kpa | ||
溫度范圍 | 5-45℃(41-113℉) | ||
輸入電源 | +15VDC±2% 25mA | +15VDC±2% 25mA | |
功率 | 3.1W max | 3.5W max | |
輸入信號 | 0-5 VDC | ||
輸出型號 | 0-5 VDC | ||
控制閥形式 | 常開或常閉電磁閥 | ||
密封件 | 橡膠密封 | ||
材質 | 316L,316,PTFE,不銹鋼(氟橡膠,氯丁橡膠) | ||
標準接口 | 1/4"VCR和Swagelok兼容 | 3/8"VCR,1/4"VCR | |
重量 | 1.0KG | 2.7KG | |
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